瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

瑞士VAT是真空閥門制造商，專注于高精度真空閥的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、平板顯示、科研等領(lǐng)域，以高可靠性、長壽命和密封性能著稱。

1. 公司背景

瑞士VAT是真空閥門制造商，專注于高精度真空閥的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、平板顯示、科研等領(lǐng)域，以高可靠性、長壽命和密封性能著稱。

2. 核心產(chǎn)品系列

(1) 單閥產(chǎn)品

• 系列型號(hào)：

• 角閥（如VAT 54系列）：適用于高真空（HV）和超高真空（UHV）環(huán)境。

• 直通閥（如VAT 47系列）：低流阻設(shè)計(jì)，適合快速抽真空。

• 閘閥（如VAT 19系列）：金屬密封，耐高溫（可達(dá)450°C），用于半導(dǎo)體工藝腔室。

• 調(diào)節(jié)閥：精確控制氣體流量，用于工藝壓力調(diào)節(jié)。

• 技術(shù)參數(shù)：

• 泄漏率：<10?? mbar·l/s（金屬密封）。

• 材質(zhì)：不銹鋼、鋁合金，表面鍍鎳或電解拋光。

• 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、電動(dòng)或手動(dòng)。

(2) 多閥裝置（Multi-Valve Systems）

• 設(shè)計(jì)特點(diǎn)：

• 集成多個(gè)閥門（如隔離閥、旁抽閥、主泵閥）于單一模塊，簡化真空系統(tǒng)布局。

• 模塊化設(shè)計(jì)，支持定制化組合（如VAT Lockfast®系列）。

• 快速響應(yīng)（開關(guān)時(shí)間可低至50ms）。

• 典型應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體刻蝕/沉積設(shè)備的多腔室隔離。

• 光伏鍍膜系統(tǒng)的真空路徑切換。

3. 核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

• 密封技術(shù)：

• 金屬密封（無彈性材料）適用于高溫和腐蝕性環(huán)境。

• 彈性密封（如氟橡膠）用于經(jīng)濟(jì)型應(yīng)用。

• 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：

• 氣動(dòng)執(zhí)行器標(biāo)配防爆設(shè)計(jì)，電動(dòng)執(zhí)行器支持PLC控制。

• 智能控制：

• 支持PROFINET、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，實(shí)時(shí)監(jiān)控閥門狀態(tài)。

4. 典型應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：晶圓傳輸腔室、刻蝕設(shè)備。

• 光伏產(chǎn)業(yè)：PECVD、ALD設(shè)備的真空隔離。

• 科研裝置：同步輻射光源、粒子加速器。

• 工業(yè)真空：鍍膜機(jī)、熱處理設(shè)備。

5. 選型參考

• 關(guān)鍵參數(shù)：

• 通徑尺寸（DN16至DN400）。

• 壓力范圍（從大氣壓到10?1? mbar）。

• 兼容氣體（腐蝕性/惰性氣體）。

• 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)：

• SEMI F47（半導(dǎo)體設(shè)備抗電壓波動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)）。

• CE/UL認(rèn)證。

6. 服務(wù)與支持

• 提供定制化設(shè)計(jì)、快速交付及全球技術(shù)支持。

• 在線配置工具（如VAT Configurator）輔助選型。

瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置